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  • 產品名稱: EQ-TM106膜厚監測儀
  • 上架時間: 2017-05-03
  • 產品編號: 03990701
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產品簡介:EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備薄膜制備過程中,用于膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。EQ-TM106膜厚監測儀根據制備薄膜的實時速率可以輸出PWM(脈沖寬度調制)模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制,從而檢測所制備薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚監測儀體積小巧可節省實驗室空間,原理簡單,操作方便,尤其適合于實驗室中薄膜制備過程的使用。 

 

產品名稱

EQ-TM106膜厚監測儀

產品型號

EQ-TM106

主要特點

1、可與計算機連接。

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態。

3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。

技術參數

EQ-TM106-1監測組件

1、電源:DC  5V(±10%,最大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

5、測量速度:100ms-1s/,可設置

6、測量范圍:500000Å(

7、標準傳感器晶體:6MHz

8、計算機接口:RS-232/485串行接口波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位8,停止位1,校驗

9、模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出集電極開路或內部5V輸出

10、工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數碼管LED

4、通訊端口:RS-485波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400設置,數據位8,停止位1,奇偶校驗

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:Ø14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:Ø3mm,長度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動擋板路管:Ø3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100

9、電氣接口:BCN插座

標準配件

1

EQ-TM106-1監測組件

1

2

EQ-TM106-2顯示儀

1

3

EQ-TM106-3探頭

1

 

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